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論文

Ti(0001)表面酸化における極薄酸化膜成長と酸化状態

高桑雄二*; 石塚眞治*; 吉越章隆; 寺岡有殿; 盛谷浩右; 小川修一*; 水野善之*; 頓田英機*; 本間禎一*

真空, 47(6), p.457 - 461, 2004/06

https://doi.org/10.3131/jvsj.47.457

Ti(0001)表面の酸化反応を400 $^{circ}$ C, 3.710 $^{-6}$ Paの反応条件のもとで放射光を用いてその場リアルタイム光電子分光観察した。酸素の吸着曲線は45-85Lで一旦台形状になるが、その後増加した。この再増加はTiの酸化状態がTiOからTiO $_{2}$ に変化することに伴って起こる。結局、酸素の吸着曲線の特異的な変化はTiの酸化状態の変化に対応していることがわかった。